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https://hdl.handle.net/1822/1558| Título: | Spiral inductors on silicon for wireless communications |
| Autor(es): | Trabulo, Pedro Durães, Dalila Mendes, P. M. Garrido, Paulo Correia, J. H. |
| Palavras-chave: | Silicon spiral inductors Bulk-micromachining RFIC devices Bulk-micromachining technology |
| Data: | 2004 |
| Editora: | Trans Tech Publications |
| Revista: | Materials Science Forum |
| Citação: | MARTINS, Rodrigo [et al.], ed. lit. - "Advanced materials forum II : proceedings of the International Materials Symposium, 2, Costa da Caparica, 2003". Zürich : Trans Tech Publications, 2004. ISBN 0-87849-941-5. vol. 455-456, p. 116-119. |
| Resumo(s): | This paper presents the design and fabrication of integrated micromachined inductors on silicon substrates. In order to reduce eddy currents in silicon substrates, bulk-micromachining technology is used to etch the silicon wafer. In this way, aluminum spiral micromachined inductors can achieve a quality factor Q of approximately 30 (0.6-2 nH @ 2-15 GHz). Also, the resistivity of the inductors material is discussed. |
| Tipo: | Artigo em ata de conferência |
| URI: | https://hdl.handle.net/1822/1558 |
| ISBN: | 0-87849-941-5 |
| ISSN: | 0255-5476 |
| Arbitragem científica: | yes |
| Acesso: | Acesso aberto |
| Aparece nas coleções: | DEI - Artigos em atas de congressos nacionais |
Ficheiros deste registo:
| Ficheiro | Descrição | Tamanho | Formato | |
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