Artigo Acesso restrito (UMinho) Revisto por pares

Composition and structure variation for magnetron sputtered tantalum oxynitride thin films, as function of deposition parameters

Autor(es)

Ficheiros

APSUS structure 2015.pdf (2.76 MB)

Embargo

Tipo de Documento

Artigo

Idioma

Métricas Alternativas

Coleções

CDF - GRF - Artigos/Papers (with refereeing)
A carregar...
Ver registo completo
UM