Micro inclinómetro eletromecânico

Abstract

Uma nova abordagem para a realização de um inclinómetro é apresentada neste trabalho. A tensão de pull-in de um micro sistema eletromecânico é usada como método de transdução para detetar alterações na inclinação. O comportamento da microestrutura foi estudado de modo a encontrar o melhor modo de atuação. Várias simulações foram efetuadas utilizando rampas de tensão com diferentes declives e os resultados indicam que a utilização de um declive de 30V/s permite obter um bom compromisso entre o erro na tensão de pull-in e o tempo decorrido até ao pull-in. Os testes realizados experimentalmente utilizando uma rampa de tensão com o declive escolhido sustentam a proposta da utilização da tensão de pull-in como método de transdução e mostram um dispositivo com uma resolução de 0.006º.